1. Mechanical microsensors
پدیدآورنده : M. Elwenspoek, R.J. Wiergerink
کتابخانه: کتابخانه مرکزی دانشگاه یاسوج (محمد بهمن بیگی) (کهکیلویة و بویرأحمد)
موضوع : Detectors- Design and construction,Microelectromechanical systems- Design and construction,Transducers,Silicon,Micromachining
رده :
681
,.
2
,
E49